半導體材（cái）料廢氣處理方法

1.半導體材料廢氣簡述

隨著科技（jì）的不斷發展，半導體產業在全球範圍內呈現出蓬勃發展的態勢（shì）。然而（ér），這（zhè）一產業的發展也（yě）帶來了一定程度（dù）的環境汙染問題。半導體（tǐ）材料在生（shēng）產過程產生（shēng）有機廢氣汙染物，對環境造成了（le）嚴重汙染。因此，必須對半導體材料廢氣進行淨化處理後達標排放（fàng）。

2.半導（dǎo）體（tǐ）材料廢氣（qì）處理方法

半導體（tǐ）材料生產過程中產生有機廢氣等汙染物。而目前對於有機廢氣（qì）處理（lǐ）方法有很（hěn）多種，常見主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法（fǎ）等，接下來天浩洋（yáng）環保小（xiǎo）編詳細介紹半導體材料（liào）廢氣處理方法。

（1）活（huó）性炭吸附法

活性（xìng）炭（tàn）吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳（tàn）、矽膠、分（fèn）子篩等）來處理有機廢氣，這樣就（jiù）能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，並且（qiě）將其吸附在（zài）吸附劑的表麵，從而達到淨化有機（jī）廢氣（qì）的目的。吸附法目前主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭（tàn）淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用（yòng）遍及，操縱（zòng）簡單，投資低（dī）。在（zài）吸附飽和以後需要（yào）更換新的活性炭，更換（huàn）活性炭需要（yào）費用，替換下來的飽（bǎo）和以後的（de）活性炭（tàn）也是需要找專（zhuān）業人（rén）員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法（fǎ）

燃燒法隻在揮發性有機物在高（gāo）溫及空氣充足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有機廢氣，可以分（fèn）為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處理濃度在（zài）1000—5000 mg/m³ 的廢氣（qì），采用熱力燃燒法，廢氣（qì）中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或（huò）助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒（shāo）低，大約為540—820℃。燃燒法處（chù）理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣（qì）若含（hán）有S、N等元素，燃燒後（hòu）產生的廢氣直接外排會導致二次汙染（rǎn）。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣（qì），其淨化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排放的點多且（qiě）分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要（yào）多套且需要很大的占地麵積。熱力燃燒比較適合24小時（shí）連續不斷運行且濃度較高而穩定的廢（fèi）氣工況，不適合間斷（duàn）性的生產產線工況。催化燃燒的投資和運營費（fèi）用相對熱力燃燒較低，但（dàn）淨化（huà）效率也相對（duì）較低一些；但貴金屬催化（huà）劑容易因為廢氣中（zhōng）的雜質（如硫化物）等造成中毒失（shī）效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控製（zhì）非常嚴格，否則會造成催化燃燒室堵塞而引（yǐn）起安全事故。

（3）UV光解淨（jìng）化法

UV光解（jiě）淨化法利用高能UV紫外線光束分解（jiě）空氣中的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧（yǎng）所攜帶正負電子不平衡（héng）所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭（chòu）氧具（jù）有很強的（de）氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解（jiě）氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解（jiě）轉化成低分子化合（hé）物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以上（shàng）；適應性強，可（kě）適應（yīng）中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡（è）臭（chòu）氣體物質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗（hào）能低，無需專人管理與維護，隻（zhī）需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防（fáng）火、防爆、防（fáng）腐蝕性能高，設備性能（néng）安全穩定，特別適用於化（huà）工、製藥等防爆要求高的行業。

以上關於半導體材料廢氣處理方法介紹，希望可（kě）以幫到您，其實對於半導體材料廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣（qì）成分、如何收集等方麵進行設計收集處（chù）理。如果您有半導體材料廢氣需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢天（tiān）浩洋環保,為您提供半導體（tǐ）材料廢氣處理方案及設備。